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文献
J-GLOBAL ID：201702249367643267
整理番号：17A0445497
シリコン上の(Ti,Fe)N_x薄膜のナノ引かき試験【Powered by NICT】
Nano-scratch testing of (Ti,Fe)Nx thin films on silicon
Beake B.D.
(Micro Materials Ltd., Willow House, Ellice Way, Yale Business Village, Wrexham LL13 7YL, UK)
,
Vishnyakov V.M.
(Materials Research Institute, University of Huddersfield, Huddersfield HD1 3DH, UK)
,
Harris A.J.
(Micro Materials Ltd., Willow House, Ellice Way, Yale Business Village, Wrexham LL13 7YL, UK)
資料名：
Surface & Coatings Technology
(Surface & Coatings Technology)
巻： 309 ページ： 671-679 発行年： 2017年
JST資料番号： D0205C ISSN： 0257-8972 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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