前のページに戻る この文献は全文を取り寄せることができます
JDreamⅢ複写サービスから文献全文の複写（冊子体のコピー）をお申込みできます。
ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です。
ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です。
既に、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDをお持ちの方
JDreamⅢ複写サービスのご利用が初めての方
取り寄せる文献のタイトルと詳細
文献
J-GLOBAL ID：201702249518794004
整理番号：17A0443975 高出力インパルスマグネトロンスパッタリングにおける小孔の内壁上の(Ti, Al)N膜成長の圧力依存性【Powered by NICT】
Pressure dependence of (Ti, Al)N film growth on inner walls of small holes in high-power impulse magnetron sputtering
Shimizu Tetsuhide
(Division of Intelligent Mechanical Systems, Graduate School of System Design, Tokyo Metropolitan University, 6-6, Asahigaoka, Hino-shi, 191-0065 Tokyo, Japan)
, Komiya Hidetoshi
(Surface Finishing Technology Group, Tokyo Metropolitan Industrial Technology Research Institute, 2-4-10, Aomi, Kohtoh-ku, 135-0064 Tokyo, Japan)
, Teranishi Yoshikazu
(Surface Finishing Technology Group, Tokyo Metropolitan Industrial Technology Research Institute, 2-4-10, Aomi, Kohtoh-ku, 135-0064 Tokyo, Japan)
, Morikawa Kazuo
(Surface Finishing Technology Group, Tokyo Metropolitan Industrial Technology Research Institute, 2-4-10, Aomi, Kohtoh-ku, 135-0064 Tokyo, Japan)
, Nagasaka Hiroshi
(Surface Finishing Technology Group, Tokyo Metropolitan Industrial Technology Research Institute, 2-4-10, Aomi, Kohtoh-ku, 135-0064 Tokyo, Japan)
, Yang Ming
(Division of Intelligent Mechanical Systems, Graduate School of System Design, Tokyo Metropolitan University, 6-6, Asahigaoka, Hino-shi, 191-0065 Tokyo, Japan)
資料名：
Thin Solid Films
(Thin Solid Films)
巻： 624 ページ： 189-196 発行年： 2017年
JST資料番号： B0899A ISSN： 0040-6090 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
JDreamⅢ複写サービスとは
JDreamⅢ複写サービスは、学術文献の全文を複写（コピー）して取り寄せできる有料サービスです。インターネットに公開されていない文献や、図書館に収録されていない文献の全文を、オンラインで取り寄せることができます。J-GLOBALの整理番号にも対応しているので、申し込みも簡単にできます。全文の複写（コピー）は郵送またはFAXでお送りします
※ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です
※初めてご利用される方は、JDreamⅢ複写サービスのご案内をご覧ください。
※ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です
※初めてご利用される方は、JDreamⅢ複写サービスのご案内をご覧ください。