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文献
J-GLOBAL ID：201702249702453247
整理番号：17A0922688
超音波ナノインプリントリソグラフィーにおける低エネルギー損失を目的とした着脱可能なモールド固定方法の比較評価
Comparative evaluation of detachable mold fixing methods aimed at low energy loss for ultrasonic nanoimprint lithography
MEKARU Harutaka
(National Inst. Advanced Industrial Sci. and Technol.(AIST), Ibaraki, JPN)
,
YANO Takayuki
(National Inst. Natural Sci., Aichi, JPN)
資料名：
Microsystem Technologies
(Microsystem Technologies)
巻： 23 号： 7 ページ： 2707-2717 発行年： 2017年07月
JST資料番号： W2056A ISSN： 0946-7076 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： ドイツ (DEU) 言語： 英語 (EN)
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