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文献
J-GLOBAL ID：201702249734474807
整理番号：17A1309752
プラズマ浸漬イオン注入及び堆積における増加する堆積率のための開放領域を持つ試料ホルダ
Note: Sample holder with open area for increased deposition rate in plasma immersion ion implantation and deposition
Flege S.
(Department of Materials Science, Technische Universitaet Darmstadt, 64287 Darmstadt, Germany)
,
Hatada R.
(Department of Materials Science, Technische Universitaet Darmstadt, 64287 Darmstadt, Germany)
,
Derepa A.
(Department of Materials Science, Technische Universitaet Darmstadt, 64287 Darmstadt, Germany)
,
Dietz C.
(Department of Materials Science, Technische Universitaet Darmstadt, 64287 Darmstadt, Germany)
,
Ensinger W.
(Department of Materials Science, Technische Universitaet Darmstadt, 64287 Darmstadt, Germany)
,
Baba K.
(Graduate School of Engineering, Nagasaki University, Nagasaki 852-8521, Japan)
資料名：
Review of Scientific Instruments
(Review of Scientific Instruments)
巻： 88 号： 9 ページ： 096106-096106-3 発行年： 2017年09月
JST資料番号： D0517A ISSN： 0034-6748 CODEN： RSINAK 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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