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文献
J-GLOBAL ID：201702249961708296
整理番号：17A1090437
少ないオーバレイサンプリングでプロセス補正を正確に決定する計算予測と測定データを用いた複合解法
A hybrid solution using computational prediction and measured data to accurately determine process correction with reduced overlay sampling
NOYES Ben F., III
(Samsung Austin Semiconductor LLC, TX, USA)
,
MOKABERI Babak
(Samsung Austin Semiconductor LLC, TX, USA)
,
MANDOY Ram
(Samsung Austin Semiconductor LLC, TX, USA)
,
PATE Alex
(Samsung Austin Semiconductor LLC, TX, USA)
,
HUIJGEN Ralph
(ASML Netherlands B.V., Veldhoven, NLD)
,
MCBURNEY Mike
(ASML Netherlands B.V., Veldhoven, NLD)
,
CHEN Owen
(ASML Netherlands B.V., Veldhoven, NLD)
資料名：
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻： 10145 号： Pt.1 ページ： 1014508.1-1014508.6 発行年： 2017年
JST資料番号： D0943A ISSN： 0277-786X CODEN： PSISDG 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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