文献
J-GLOBAL ID:201702250031068771
整理番号:17A0462697
SF6プラズマによる希有金属の熱反応性イオンエッチング
Thermal Reactive Ion Etching of Minor Metals with SF6 Plasma
著者 (5件):
HAN Gang
(Niigata Univ., Niigata, JPN)
,
MURATA Yuki
(Niigata Univ., Niigata, JPN)
,
MINAMI Yuto
(Niigata Univ., Niigata, JPN)
,
SOHGAWA Masayuki
(Niigata Univ., Niigata, JPN)
,
ABE Takashi
(Niigata Univ., Niigata, JPN)
資料名:
Sensors and Materials
(Sensors and Materials)
巻:
29
号:
3
ページ:
217-223
発行年:
2017年
JST資料番号:
L0338A
ISSN:
0914-4935
CODEN:
SENMER
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
日本 (JPN)
言語:
英語 (EN)