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文献
J-GLOBAL ID：201702250371357324
整理番号：17A0381674
アコースティックエミッションのための多軸ピエゾ抵抗MEMSセンサ【Powered by NICT】
A multi-axis piezoresistive MEMS sensor for acoustic emission
Matsuda Nobuhiko
(The University of Tokyo, Tokyo, Japan)
,
Dung Nguyen Minh
(The University of Tokyo, Tokyo, Japan)
,
Takahata Tomoyuki
(The University of Tokyo, Tokyo, Japan)
,
Shimoyama Isao
(The University of Tokyo, Tokyo, Japan)
資料名：
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻： 2017 号： MEMS ページ： 1181-1183 発行年： 2017年
JST資料番号： W2441A 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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