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J-GLOBAL ID：201702250742434725 整理番号：17A1139793

光の回折現象を利用した湾曲定量解析手法の開発とフレキシブル基板の表面ひずみ実測

著者 (7件)：

田口諒

(東工大化生研)

山田航平

(東工大化生研)

赤松範久

(東工大化生研)

藤川茂紀

(東工大化生研)

藤川茂紀

(九大 WPI-I2CNER)

宍戸厚

(東工大化生研)

宍戸厚

(JST-さきがけ)

資料名：

応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) (Extended Abstracts. JSAP Autumn Meeting (CD-ROM))

巻： 78th ページ： ROMBUNNO.6p-C11-3 発行年： 2017年08月25日
JST資料番号： Y0055B ISSN： 2758-4704 資料種別：会議録 (C)
記事区分：短報発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

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