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文献
J-GLOBAL ID：201702250793356983
整理番号：17A0969278
逐次酸素プラズマ処理に基づく空間的に制御された波長を用いた段階的勾配しわパターンのための簡単な製造プロセス【Powered by NICT】
A simple fabrication process for stepwise gradient wrinkle pattern with spatially-controlled wavelength based on sequential oxygen plasma treatment
Lee Jeong Su
(Department of Mechanical Engineering, Pohang University of Science and Technology (POSTECH), 77 Cheongam-ro, Nam-gu, Pohang 37673, South Korea)
,
Hong Hyeonjun
(Department of Mechanical Engineering, Pohang University of Science and Technology (POSTECH), 77 Cheongam-ro, Nam-gu, Pohang 37673, South Korea)
,
Park Sung Jea
(Department of Mechanical Engineering, Pohang University of Science and Technology (POSTECH), 77 Cheongam-ro, Nam-gu, Pohang 37673, South Korea)
,
Lee Seong Jin
(Department of Mechanical Engineering, Pohang University of Science and Technology (POSTECH), 77 Cheongam-ro, Nam-gu, Pohang 37673, South Korea)
,
Kim Dong Sung
(Department of Mechanical Engineering, Pohang University of Science and Technology (POSTECH), 77 Cheongam-ro, Nam-gu, Pohang 37673, South Korea)
資料名：
Microelectronic Engineering
(Microelectronic Engineering)
巻： 176 ページ： 101-105 発行年： 2017年
JST資料番号： C0406B ISSN： 0167-9317 CODEN： MIENEF 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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