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文献
J-GLOBAL ID：201702251211865228
整理番号：17A0453263
高周波バイアスを用いたパルス変調誘導結合プラズマ放電の流体シミュレーション【Powered by NICT】
Fluid simulation of a pulse-modulated, inductively coupled plasma discharge with radio frequency bias
Jeong YoungDo
(School of Electronics and Information Engineering, Korea Aerospace University, Goyang, Gyeonggi 412-791, Republic of Korea)
,
Lee Young Jun
(School of Electronics and Information Engineering, Korea Aerospace University, Goyang, Gyeonggi 412-791, Republic of Korea)
,
Kwon Deuk-Chul
(Plasma Technology Research Center, National Fusion Research Institute, Gunsan, Jeollabuk 573-540, Republic of Korea)
,
Choe HeeHwan
(School of Electronics and Information Engineering, Korea Aerospace University, Goyang, Gyeonggi 412-791, Republic of Korea)
資料名：
Current Applied Physics
(Current Applied Physics)
巻： 17 号： 3 ページ： 403-408 発行年： 2017年
JST資料番号： W1579A ISSN： 1567-1739 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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