文献
J-GLOBAL ID:201702251273902599
整理番号:17A0381546
非常に柔軟な構造物のインプロセススティクション低減のためのマイクロ係留【Powered by NICT】
Micro-tethering for in-process stiction mitigation of highly compliant structures
著者 (9件):
Flader Ian B.
(Stanford University, Stanford, CA, USA)
,
Chen Yunhan
(Stanford University, Stanford, CA, USA)
,
Shin Dongsuk D.
(Stanford University, Stanford, CA, USA)
,
Heinz David B.
(Stanford University, Stanford, CA, USA)
,
Ortiz Lizmarie Comenencia
(Stanford University, Stanford, CA, USA)
,
Alter Anne L.
(Stanford University, Stanford, CA, USA)
,
Park Woosung
(Stanford University, Stanford, CA, USA)
,
Goodson Kenneth E.
(Stanford University, Stanford, CA, USA)
,
Kenny Thomas W.
(Stanford University, Stanford, CA, USA)
資料名:
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻:
2017
号:
MEMS
ページ:
675-678
発行年:
2017年
JST資料番号:
W2441A
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)