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J-GLOBAL ID：201702251303123391 整理番号：17A0594245

線形回帰を用いたリソグラフィーパターンの光学顕微鏡画像を用いた近接場ビームスポットアレイの相対位置決め法

Relative positioning method for near-field beam spot array with optical microscope image of lithographic patterns using linear regression

著者 (3件)：

OH Seonghyeon

(Yonsei Univ., Seoul, KOR)

JANG Jinhee

(Yonsei Univ., Seoul, KOR)

HAHN Jae W.

(Yonsei Univ., Seoul, KOR)

資料名：

Applied Optics (Applied Optics)

巻： 56 号： 5 ページ： 1346-1352 発行年： 2017年02月10日
JST資料番号： B0026B ISSN： 1559-128X CODEN： APOPAI 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

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