文献
J-GLOBAL ID:201702251523259669
整理番号:17A1834046
表面エンコーダのための多重0基準標識を用いた交差回折格子の設計と製作【Powered by NICT】
Design and fabrication of a crossed grating with multiple zero-reference marks for surface encoders
著者 (2件):
Mao Xinyu
(Department of Precision Instrument, Tsinghua University, Beijing, China)
,
Zeng Lijiang
(Department of Precision Instrument, Tsinghua University, Beijing, China)
資料名:
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻:
2017
号:
CLEO-PR
ページ:
1-2
発行年:
2017年
JST資料番号:
W2441A
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)