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文献
J-GLOBAL ID：201702252301673479
整理番号：17A1732272
SAW素子のためのサファイア基板上のc軸傾斜配向ScAlN膜の成長【Powered by NICT】
Film growth of c-axis tilted ScAlN on the sapphire substrate for SAW devices
Tokuda Shohei
(Graduate School of Life and Medical Sciences Doshisha University Kyotanabe, Kyoto, Japan)
,
Takayanagi Shinji
(Graduate school of Engineering Nagoya Institute of Technology Nagoya, Aichi, Japan)
,
Matsukawa Mami
(Faculty of Science and Engineering Doshisha University Kyotanabe, Kyoto, Japan)
,
Yanagitani Takahiko
(Faculty of Advanced Science and Engineering Waseda University Shinjyuku, Tokyo, Japan)
資料名：
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻： 2017 号： IUS ページ： 1-4 発行年： 2017年
JST資料番号： W2441A 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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