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文献
J-GLOBAL ID：201702252505572095
整理番号：17A0281476
RF集積受動素子用のウエハレベルでの懸垂式高Q値MIMコンデンサの設計と製作
Design and fabrication of wafer level suspended high Q MIM capacitors for RF integrated passive devices
ZHENG Tao
(Shanghai Inst. Microsystem and Information Technol., Chinese Acad. Sci., Shanghai, CHN)
,
ZHENG Tao
(Univ., Chinese Acad. Sci., Beijing, CHN)
,
HAN Mei
(Shanghai Inst. Microsystem and Information Technol., Chinese Acad. Sci., Shanghai, CHN)
,
HAN Mei
(Univ., Chinese Acad. Sci., Beijing, CHN)
,
XU Gaowei
(Shanghai Inst. Microsystem and Information Technol., Chinese Acad. Sci., Shanghai, CHN)
,
LUO Le
(Shanghai Inst. Microsystem and Information Technol., Chinese Acad. Sci., Shanghai, CHN)
資料名：
Microsystem Technologies
(Microsystem Technologies)
巻： 23 号： 1 ページ： 67-73 発行年： 2017年01月
JST資料番号： W2056A ISSN： 0946-7076 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： ドイツ (DEU) 言語： 英語 (EN)
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