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文献
J-GLOBAL ID：201702252524609831
整理番号：17A0594564
ブロードバンド光干渉法における干渉と位相のハイブリッド測定による微細構造のキャラクタリゼーション
Characterization of micro structure through hybrid interference and phase determination in broadband light interferometry
ZHOU Yi
(Inst. of Optics and Electronics, Chinese Acad. of Sci., Sichuan, CHN)
,
ZHOU Yi
(Univ. Chinese Acad. of Sci., Beijing, CHN)
,
TANG Yan
(Inst. of Optics and Electronics, Chinese Acad. of Sci., Sichuan, CHN)
,
ZHU Jiangping
(Sichuan Univ., Chengdu, CHN)
,
DENG Qinyuan
(Inst. of Optics and Electronics, Chinese Acad. of Sci., Sichuan, CHN)
,
DENG Qinyuan
(Univ. Chinese Acad. of Sci., Beijing, CHN)
,
YANG Yong
(Inst. of Optics and Electronics, Chinese Acad. of Sci., Sichuan, CHN)
,
ZHAO Lixin
(Inst. of Optics and Electronics, Chinese Acad. of Sci., Sichuan, CHN)
,
HU Song
(Inst. of Optics and Electronics, Chinese Acad. of Sci., Sichuan, CHN)
資料名：
Applied Optics
(Applied Optics)
巻： 56 号： 8 ページ： 2301-2306 発行年： 2017年03月10日
JST資料番号： B0026B ISSN： 1559-128X CODEN： APOPAI 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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