文献
J-GLOBAL ID:201702252681858838
整理番号:17A0411805
視射角蒸着モードにおける回転昇華蒸気噴散源を用いて成長させたCdTe膜【Powered by NICT】
CdTe films grown using a rotating sublimate vapor effusion source in glancing angle deposition mode
著者 (5件):
Daza L.G.
(Department of Applied Physics, CINVESTAV-IPN, Unidad Merida, 97310 Merida, Yucatan, Mexico)
,
Castro-Rodriguez R.
(Department of Applied Physics, CINVESTAV-IPN, Unidad Merida, 97310 Merida, Yucatan, Mexico)
,
Martin-Tovar E.A.
(Department of Applied Physics, CINVESTAV-IPN, Unidad Merida, 97310 Merida, Yucatan, Mexico)
,
Iribarren A.
(Department of Applied Physics, CINVESTAV-IPN, Unidad Merida, 97310 Merida, Yucatan, Mexico)
,
Iribarren A.
(Instituto de Ciencia y Tecnologia de Materiales, Universidad de La Habana, Zapata y G, Vedado, La Habana 10400, Cuba)
資料名:
Materials Science in Semiconductor Processing
(Materials Science in Semiconductor Processing)
巻:
59
ページ:
23-28
発行年:
2017年
JST資料番号:
W1055A
ISSN:
1369-8001
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)