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文献
J-GLOBAL ID：201702253060972656
整理番号：17A1090523
多重パターニングプロセスのための中間層検証法
Interlayer Verification Methodology for Multi-patterning Processes
JUNG Sunwook
(Mentor Graphics, Gyeonggi-do)
,
PARK Sejin
(Samsung Electronics Co., Ltd, Gyeonggi-do, KOR)
,
KIM Jungmin
(Samsung Electronics Co., Ltd, Gyeonggi-do, KOR)
,
KIM Jinhee
(Mentor Graphics, Gyeonggi-do)
,
JOHN Sturtevant
(Mentor Graphics, OR)
資料名：
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻： 10147 ページ： 101470J.1-101470J.9 発行年： 2017年
JST資料番号： D0943A ISSN： 0277-786X CODEN： PSISDG 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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