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文献
J-GLOBAL ID：201702253118980671
整理番号：17A0289842
マスクアブソーバの厚さ調整によるUDOF直接改良
UDOF direct improvement by modulating mask absorber thickness
YU Tuan-Yen
(United Microelectronics Corp.(UMC), Tainan, TWN)
,
LIO En Chuan
(United Microelectronics Corp.(UMC), Tainan, TWN)
,
CHEN Po Tsang
(United Microelectronics Corp.(UMC), Tainan, TWN)
,
WEI Chih I
(United Microelectronics Corp.(UMC), Tainan, TWN)
,
CHEN Yi Ting
(United Microelectronics Corp.(UMC), Tainan, TWN)
,
PENG Ming Chun
(United Microelectronics Corp.(UMC), Tainan, TWN)
,
CHOU William
(United Microelectronics Corp.(UMC), Tainan, TWN)
,
YU Chun Chi
(United Microelectronics Corp.(UMC), Tainan, TWN)
資料名：
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻： 9985 ページ： 99850Y.1-99850Y.9 発行年： 2016年
JST資料番号： D0943A ISSN： 0277-786X CODEN： PSISDG 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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