文献
J-GLOBAL ID:201702253134778244
整理番号:17A0748324
サイズ選択クラスタイオンを用いた真空エレクトロスプレイ液滴衝撃(V EDI)によるポリイミドのスパッタリング特性【Powered by NICT】
Sputtering properties for polyimide by vacuum electrospray droplet impact (V-EDI) using size-selected cluster ions
著者 (3件):
Sakai Yuji
(Clean Energy Research Center, University of Yamanashi, 4-3-11Takeda, Kofu, Yamanashi, 400-8511, Japan)
,
Ninomiya Satoshi
(Interdisciplinary Graduate School, University of Yamanashi, 4-3-11Takeda, Kofu, Yamanashi, 400-8511, Japan)
,
Hiraoka Kenzo
(Clean Energy Research Center, University of Yamanashi, 4-3-11Takeda, Kofu, Yamanashi, 400-8511, Japan)
資料名:
Surface and Interface Analysis
(Surface and Interface Analysis)
巻:
49
号:
2
ページ:
127-132
発行年:
2017年
JST資料番号:
E0709A
ISSN:
0142-2421
CODEN:
SIANDQ
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)