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文献
J-GLOBAL ID：201702253394020212
整理番号：17A1634984
オーバレイ測定のための不安定な6自由度6脚段階の予測モデルベースMIMO運動制御【Powered by NICT】
Predictive-model-based MIMO motion control of an unstable 6-DoF hexapod stage for overlay measurements
Witvoet Gert
(TNO Technical Sciences, Optomechatronics department, P.O. Box 155, 2600 AD Delft)
,
Kulper Stefan
(TNO Technical Sciences, Optomechatronics department, P.O. Box 155, 2600 AD Delft)
,
Kramer Geerten
(TNO Technical Sciences, Optomechatronics department, P.O. Box 155, 2600 AD Delft)
,
Baeten Max
(TNO Technical Sciences, Optomechatronics department, P.O. Box 155, 2600 AD Delft)
資料名：
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻： 2017 号： CCTA ページ： 726-731 発行年： 2017年
JST資料番号： W2441A 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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