文献
J-GLOBAL ID:201702253465232242
整理番号:17A1637413
ICの故障解析はFinFETを含む【Powered by NICT】
Failure analysis of IC contains FinFET
著者 (6件):
Chu C. H.
(Materials Analysis Technology Inc., 1B9, No. 1, Li-hsin Rd. I, Hsinchu, Taiwan)
,
Kuo P. S
(Materials Analysis Technology Inc., 1B9, No. 1, Li-hsin Rd. I, Hsinchu, Taiwan)
,
Chang T. F.
(Materials Analysis Technology Inc., 1B9, No. 1, Li-hsin Rd. I, Hsinchu, Taiwan)
,
Yang J. X.
(Materials Analysis Technology Inc., 1B9, No. 1, Li-hsin Rd. I, Hsinchu, Taiwan)
,
Chang Jum
(Materials Analysis Technology Inc., 1B9, No. 1, Li-hsin Rd. I, Hsinchu, Taiwan)
,
Yang Ray
(Materials Analysis Technology Inc., 1B9, No. 1, Li-hsin Rd. I, Hsinchu, Taiwan)
資料名:
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻:
2017
号:
IPFA
ページ:
1-4
発行年:
2017年
JST資料番号:
W2441A
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)