文献
J-GLOBAL ID:201702253496353287
整理番号:17A0229328
非反応性ポリマーマトリックス内の原子層堆積による金属酸化物の堆積メカニズム:ポリマーの結晶性と温度の影響
Mechanism of Metal Oxide Deposition from Atomic Layer Deposition inside Nonreactive Polymer Matrices: Effects of Polymer Crystallinity and Temperature
著者 (6件):
OBUCHOVSKY Stas
(Technion, Israel Inst. of Technol., Haifa, ISR)
,
FRANKENSTEIN Hadar
(Technion, Israel Inst. of Technol., Haifa, ISR)
,
VINOKUR Jane
(Technion, Israel Inst. of Technol., Haifa, ISR)
,
HAILEY Anna K.
(Princeton Univ., New Jersey, USA)
,
LOO Yueh-Lin
(Princeton Univ., New Jersey, USA)
,
FREY Gitti L.
(Technion, Israel Inst. of Technol., Haifa, ISR)
資料名:
Chemistry of Materials
(Chemistry of Materials)
巻:
28
号:
8
ページ:
2668-2676
発行年:
2016年04月26日
JST資料番号:
T0893A
ISSN:
0897-4756
CODEN:
CMATEX
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)