文献
J-GLOBAL ID:201702253509332023
整理番号:17A0965690
28LPのための改善STI CMPディッシングと均一性の研究と解【Powered by NICT】
Research and solution of STI CMP dishing and uniformity improve for 28LP
著者 (6件):
Lei Zhang
(Shanghai Huali Microelectronics Corporation, NO.568, Gaosi Rd. Zhangjiang Hi-Tech Park Pudong, 201203, China)
,
Junhua Yan
(Shanghai Huali Microelectronics Corporation, NO.568, Gaosi Rd. Zhangjiang Hi-Tech Park Pudong, 201203, China)
,
Kun Chen
(Shanghai Huali Microelectronics Corporation, NO.568, Gaosi Rd. Zhangjiang Hi-Tech Park Pudong, 201203, China)
,
Wenbin Fan
(Shanghai Huali Microelectronics Corporation, NO.568, Gaosi Rd. Zhangjiang Hi-Tech Park Pudong, 201203, China)
,
Yefang Zhu
(Shanghai Huali Microelectronics Corporation, NO.568, Gaosi Rd. Zhangjiang Hi-Tech Park Pudong, 201203, China)
,
Jingxun Fang
(Shanghai Huali Microelectronics Corporation, NO.568, Gaosi Rd. Zhangjiang Hi-Tech Park Pudong, 201203, China)
資料名:
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻:
2017
号:
CSTIC
ページ:
1-2
発行年:
2017年
JST資料番号:
W2441A
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)