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文献
J-GLOBAL ID：201702253564277856
整理番号：17A0118310
Raman顕微分光法を用いた半導体製造における直接光学応力センシング【Powered by NICT】
Direct optical stress sensing in semiconductor manufacturing using Raman micro-spectrometry
De Biasio M.
(Carinthian Tech Research AG, Europastras&e 12, 9500 Villach)
,
Kraft M.
(Carinthian Tech Research AG, Europastras&e 12, 9500 Villach)
,
Roesner M.
(Infineon Technologies Austria AG, Siemensstras&e 2, 9500 Villach, Austria)
,
Bergmann C.
(Infineon Technologies Austria AG, Siemensstras&e 2, 9500 Villach, Austria)
,
Cerezuela-Barreto M.
(Fraunhofer IISB, Schottkystras&e 10, 91058 Erlangen, Germany)
,
Lewke D.
(Fraunhofer IISB, Schottkystras&e 10, 91058 Erlangen, Germany)
,
Schellenberger M.
(Fraunhofer IISB, Schottkystras&e 10, 91058 Erlangen, Germany)
資料名：
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻： 2016 号： SENSORS ページ： 1-3 発行年： 2016年
JST資料番号： W2441A 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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