文献
J-GLOBAL ID:201702253608568341
整理番号:17A0118519
Si MEMSジャイロスコープにおける一桁周波数対称性の集中ばねアーキテクチャ【Powered by NICT】
A concentrated springs architecture for single-digit frequency symmetry in Si MEMS gyroscope
著者 (9件):
Giner J.
(Hitachi Ltd. Research and Development Group, Tokyo, Japan)
,
Zhang Y.
(Hitachi Ltd. Research and Development Group, Tokyo, Japan)
,
Shiota T.
(Hitachi Ltd. Research and Development Group, Tokyo, Japan)
,
Maeda D.
(Hitachi Ltd. Research and Development Group, Tokyo, Japan)
,
Ono K.
(Hitachi Ltd. Research and Development Group, Tokyo, Japan)
,
Kajiyama S.
(Hitachi Ltd. Research and Development Group, Tokyo, Japan)
,
Oshima T.
(Hitachi Ltd. Research and Development Group, Tokyo, Japan)
,
Yamawaki T.
(Hitachi Ltd. Research and Development Group, Tokyo, Japan)
,
Sekiguchi T.
(Hitachi Ltd. Research and Development Group, Tokyo, Japan)
資料名:
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻:
2016
号:
SENSORS
ページ:
1-3
発行年:
2016年
JST資料番号:
W2441A
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)