文献
J-GLOBAL ID:201702253621158830
整理番号:17A0118172
SiGe MEMS技術のためのモノリシック集積化への挑戦【Powered by NICT】
Challenges of monolithic integration for SiGe MEMS technology
著者 (5件):
Chaudhuri A. Ray
(imec, BELGIUM, Universite ́ Catholique de Louvain, BELGIUM, Leuven, Belgium)
,
Severi S.
(imec, BELGIUM, Leuven, Belgium)
,
Helin P.
(imec, BELGIUM, Leuven, Belgium)
,
Francis L. A.
(Universite ́ Catholique de Louvain, BELGIUM, Belgium)
,
Tilmans H. A. C.
(imec, BELGIUM, Leuven, Belgium)
資料名:
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻:
2016
号:
SENSORS
ページ:
1-3
発行年:
2016年
JST資料番号:
W2441A
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)