文献
J-GLOBAL ID:201702253779533494
整理番号:17A0666228
ピエゾ抵抗係数に及ぼすn型歪(111)けい素の影響の研究【Powered by NICT】
Studying the Influence of n-Type Strained (111) Silicon on the Piezoresistive Coefficients
著者 (3件):
Balbola Amr A.
(Mechanical Engineering Department, University of Alberta, Edmonton, AB, Canada)
,
Kayed Mohammed O.
(Mechanical Engineering Department, University of Alberta, Edmonton, AB, Canada)
,
Moussa Walied A.
(Mechanical Engineering Department, University of Alberta, Edmonton, AB, Canada)
資料名:
IEEE Sensors Journal
(IEEE Sensors Journal)
巻:
17
号:
2
ページ:
302-310
発行年:
2017年
JST資料番号:
W1318A
ISSN:
1530-437X
CODEN:
ISJEAZ
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)