文献
J-GLOBAL ID:201702253897854067
整理番号:17A1090552
OPCモデルキャリブレーションにおける光学的類似性の適用
Application of optical similarity in OPC model calibration
著者 (1件):
TEJNIL Edita
(Mentor Graphics Corp., CA, USA)
資料名:
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻:
10147
ページ:
101471Q.1-101471Q.13
発行年:
2017年
JST資料番号:
D0943A
ISSN:
0277-786X
CODEN:
PSISDG
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)