文献
J-GLOBAL ID:201702254287144157
整理番号:17A0143929
RF反射率測定に基づく低圧プラズマの衝突周波数の決定【Powered by NICT】
Collision frequency determination of low-pressure plasmas based on RF-reflectometry
著者 (4件):
Schulz Christian
(Institute of Microwave Systems, Ruhr-University Bochum, 44801 Bochum, Germany)
,
Rolfes Ilona
(Institute of Microwave Systems, Ruhr-University Bochum, 44801 Bochum, Germany)
,
Oberberg Moritz
(Institute for Electrical Engineering and Plasma Technology, Ruhr-University, Bochum 44801 Bochum, Germany)
,
Awakowicz Peter
(Institute for Electrical Engineering and Plasma Technology, Ruhr-University, Bochum 44801 Bochum, Germany)
資料名:
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻:
2016
号:
EuMC
ページ:
807-810
発行年:
2016年
JST資料番号:
W2441A
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)