文献
J-GLOBAL ID:201702254366194711
整理番号:17A1637537
走査透過型電子顕微鏡を用いた電子ビーム吸収電流イメージングシステムの開発【Powered by NICT】
The development of electron beam absorbed current imaging system using scanning transmission electron microscope and its application
著者 (7件):
Suzuki Yuya
(Hitachi High-Technologies Corporation, 1040, Ichige, Hitachinaka-shi, Ibaraki 312-0033, Japan)
,
Matsumoto Hiroaki
(Hitachi High-Technologies Corporation, 1040, Ichige, Hitachinaka-shi, Ibaraki 312-0033, Japan)
,
Tanaka Hiroyuki
(Hitachi High-Technologies Corporation, 1040, Ichige, Hitachinaka-shi, Ibaraki 312-0033, Japan)
,
Kageyama Akira
(Hitachi High-Technologies Corporation, 1040, Ichige, Hitachinaka-shi, Ibaraki 312-0033, Japan)
,
Nagakubo Yasuhira
(Hitachi High-Technologies Corporation, 1040, Ichige, Hitachinaka-shi, Ibaraki 312-0033, Japan)
,
Nakamura Kuniyasu
(Hitachi High-Technologies Corporation, 1040, Ichige, Hitachinaka-shi, Ibaraki 312-0033, Japan)
,
Mizuno Takayuki
(Hitachi High-Technologies Corporation, 1040, Ichige, Hitachinaka-shi, Ibaraki 312-0033, Japan)
資料名:
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻:
2017
号:
IPFA
ページ:
1-6
発行年:
2017年
JST資料番号:
W2441A
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)