文献
J-GLOBAL ID:201702254450436639
整理番号:17A1645811
MEMSベース容量型加速度計の構造設計と最適化【Powered by NICT】
Structural design and optimization of MEMS based capacitive accelerometer
著者 (2件):
Sanyal Keya
(ECE Department, Camellia Institute of Engineering & Technology, Durgapur, India)
,
Biswas Kalyan
(ECE Department MCKV Institute of Engineering Liluah, Howrah, India)
資料名:
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻:
2017
号:
DevIC
ページ:
294-298
発行年:
2017年
JST資料番号:
W2441A
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)