文献
J-GLOBAL ID:201702254526224385
整理番号:17A1422923
p型注入4H-SiCへのTi/Al/Ni Ohm接触における表面と界面の電気的および構造的性質【Powered by NICT】
Electrical and structural properties of surfaces and interfaces in Ti/Al/Ni Ohmic contacts to p-type implanted 4H-SiC
著者 (6件):
Vivona M.
(Consiglio Nazionale delle Ricerche - Istituto per la Microelettronica e Microsistemi (CNR-IMM), Strada VIII, n. 5 - Zona Industriale, 95121 Catania, Italy)
,
Greco G.
(Consiglio Nazionale delle Ricerche - Istituto per la Microelettronica e Microsistemi (CNR-IMM), Strada VIII, n. 5 - Zona Industriale, 95121 Catania, Italy)
,
Bongiorno C.
(Consiglio Nazionale delle Ricerche - Istituto per la Microelettronica e Microsistemi (CNR-IMM), Strada VIII, n. 5 - Zona Industriale, 95121 Catania, Italy)
,
Lo Nigro R.
(Consiglio Nazionale delle Ricerche - Istituto per la Microelettronica e Microsistemi (CNR-IMM), Strada VIII, n. 5 - Zona Industriale, 95121 Catania, Italy)
,
Scalese S.
(Consiglio Nazionale delle Ricerche - Istituto per la Microelettronica e Microsistemi (CNR-IMM), Strada VIII, n. 5 - Zona Industriale, 95121 Catania, Italy)
,
Roccaforte F.
(Consiglio Nazionale delle Ricerche - Istituto per la Microelettronica e Microsistemi (CNR-IMM), Strada VIII, n. 5 - Zona Industriale, 95121 Catania, Italy)
資料名:
Applied Surface Science
(Applied Surface Science)
巻:
420
ページ:
331-335
発行年:
2017年
JST資料番号:
B0707B
ISSN:
0169-4332
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)