文献
J-GLOBAL ID:201702254713125299
整理番号:17A1731651
信頼性改善のための低温犠牲層に基づくCMUT製作プロセス【Powered by NICT】
A low temperature sacrificial layer based CMUT fabrication process for improved reliability
著者 (2件):
Pirouz Amirabbas
(School of Electrical & Computer Engineering, Georgia Institute of Technology, Atlanta, GA, USA)
,
Degertekin F. Levent
(School of Electrical & Computer Engineering, Georgia Institute of Technology, Atlanta, GA, USA)
資料名:
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻:
2017
号:
IUS
ページ:
1
発行年:
2017年
JST資料番号:
W2441A
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)