文献
J-GLOBAL ID:201702255215609986
整理番号:17A1712732
センシング応用のための標準的フォトリソグラフィープロセスによる多孔質シリコン微小共振器【Powered by NICT】
Porous silicon micro-resonator implemented by standard photolithography process for sensing application
著者 (11件):
Girault P.
(UMR FOTON, CNRS, Universite de Rennes 1, Enssat, F22305, Lannion, France)
,
Azuelos P.
(UMR FOTON, CNRS, Universite de Rennes 1, Enssat, F22305, Lannion, France)
,
Lorrain N.
(UMR FOTON, CNRS, Universite de Rennes 1, Enssat, F22305, Lannion, France)
,
Poffo L.
(UMR FOTON, CNRS, Universite de Rennes 1, Enssat, F22305, Lannion, France)
,
Lemaitre J.
(UMR FOTON, CNRS, Universite de Rennes 1, Enssat, F22305, Lannion, France)
,
Pirasteh P.
(UMR FOTON, CNRS, Universite de Rennes 1, Enssat, F22305, Lannion, France)
,
Hardy I.
(UMR FOTON, CNRS, Universite de Rennes 1, Enssat, F22305, Lannion, France)
,
Hardy I.
(UMR FOTON, CNRS, IMT Atlantique, F29238, Brest, France)
,
Thual M.
(UMR FOTON, CNRS, Universite de Rennes 1, Enssat, F22305, Lannion, France)
,
Guendouz M.
(UMR FOTON, CNRS, Universite de Rennes 1, Enssat, F22305, Lannion, France)
,
Charrier J.
(UMR FOTON, CNRS, Universite de Rennes 1, Enssat, F22305, Lannion, France)
資料名:
Optical Materials
(Optical Materials)
巻:
72
ページ:
596-601
発行年:
2017年
JST資料番号:
W0468A
ISSN:
0925-3467
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)