文献
J-GLOBAL ID:201702255291267131
整理番号:17A0463099
並列多重ビームマスク描画方法とデータ量に及ぼすその影響
A Parallel Multibeam Mask Writing Method and Its Impact on Data Volumes
著者 (3件):
CHAUDHARY N.
(Texas A&M Univ., TX, USA)
,
LUO Y.
(Texas A&M Univ., TX, USA)
,
SAVARI S. A.
(Texas A&M Univ., TX, USA)
資料名:
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻:
10032
ページ:
1003206.1-1003206.9
発行年:
2016年
JST資料番号:
D0943A
ISSN:
0277-786X
CODEN:
PSISDG
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)