文献
J-GLOBAL ID:201702255409682655
整理番号:17A1646201
CDM認定と製造における荷電装置放電波形に影響する主要パラメータ【Powered by NICT】
The main parameters affecting charged device discharge waveforms in a CDM qualification and manufacturing
著者 (3件):
Tamminen Pasi
(EDR&Medeso Oy, Kalevantie 2, Tampere, Finland)
,
Smallwood Jeremy
(Electrostatics Solutions Ltd, 13 Redhill Crescent, Southampton, SO16 7BQ, UK)
,
Stadler Wolfgang
(Intel Deutschland GmbH, Am Campeon 10-12, 85579 Neubiberg, Germany)
資料名:
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻:
2017
号:
EOS/ESD
ページ:
1-10
発行年:
2017年
JST資料番号:
W2441A
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)