文献
J-GLOBAL ID:201702255766378854
整理番号:17A0132704
3D大面積構造上への原子層堆積法のモンテカルロ法シミュレーション:ピラー型と孔型構造に対する必要な前駆体曝露量
Monte Carlo simulations of atomic layer deposition on 3D large surface area structures: Required precursor exposure for pillar- versus hole-type structures
著者 (4件):
Cremers Veronique
(Department of Solid State Sciences, Ghent University, Krijgslaan 281/S1, Ghent 9000, Belgium)
,
Geenen Filip
(Department of Solid State Sciences, Ghent University, Krijgslaan 281/S1, Ghent 9000, Belgium)
,
Detavernier Christophe
(Department of Solid State Sciences, Ghent University, Krijgslaan 281/S1, Ghent 9000, Belgium)
,
Dendooven Jolien
(Department of Solid State Sciences, Ghent University, Krijgslaan 281/S1, Ghent 9000, Belgium)
資料名:
Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films
(Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films)
巻:
35
号:
1
ページ:
01B115-01B115-6
発行年:
2017年01月
JST資料番号:
C0789B
ISSN:
0734-2101
CODEN:
JVTAD6
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)