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文献
J-GLOBAL ID：201702256226200065
整理番号：17A1501877
反応性高出力インパルスマグネトロンスパッタリングによるAlTiSiマルチドーピングによる組成変調多層ダイヤモンド状炭素被覆【Powered by NICT】
Compositionally modulated multilayer diamond-like carbon coatings with AlTiSi multi-doping by reactive high power impulse magnetron sputtering
Dai Wei
(School of Electromechanical Engineering, Guangdong University of Technology, Guangzhou 510006, PR China)
,
Dai Wei
(Institute of Materials Technology, Pusan National University, Busan 46241, Republic of Korea)
,
Gao Xiang
(School of Electromechanical Engineering, Guangdong University of Technology, Guangzhou 510006, PR China)
,
Liu Jingmao
(School of Electromechanical Engineering, Guangdong University of Technology, Guangzhou 510006, PR China)
,
Kwon Se-Hun
(School of Materials Science and Engineering, Pusan National University, Busan 46241, Republic of Korea)
,
Kwon Se-Hun
(Global Frontier R&D Center for Hybrid Interface Materials, Pusan National University, Busan 46241, Republic of Korea)
,
Wang Qimin
(School of Electromechanical Engineering, Guangdong University of Technology, Guangzhou 510006, PR China)
資料名：
Applied Surface Science
(Applied Surface Science)
巻： 425 ページ： 855-861 発行年： 2017年
JST資料番号： B0707B ISSN： 0169-4332 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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