文献
J-GLOBAL ID:201702256269739529
整理番号:17A0229879
直流マグネトロンスパッタリング法により形成した超薄酸化インジウムスズ膜のポストアニーリングによる高結晶化
High Crystallization of Ultra-Thin Indium Tin Oxide Films Prepared by Direct Current Magnetron Sputtering with Post-Annealing
著者 (2件):
KIM Min-Je
(Pusan National Univ., Busan, KOR)
,
SONG Pung-Keun
(Pusan National Univ., Busan, KOR)
資料名:
Science of Advanced Materials
(Science of Advanced Materials)
巻:
8
号:
3
ページ:
622-626
発行年:
2016年03月
JST資料番号:
W2374A
ISSN:
1947-2935
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)