文献
J-GLOBAL ID:201702256336361791
整理番号:17A1004264
高応力窒化シリコンナノビームの放射及び内部損失エンジニアリング
Radiation and Internal Loss Engineering of High-Stress Silicon Nitride Nanobeams
著者 (3件):
GHADIMI Amir Hossein
(Ecole Polytechnique Federale de Lausanne, Lausanne, CHE)
,
WILSON Dalziel Joseph
(Ecole Polytechnique Federale de Lausanne, Lausanne, CHE)
,
KIPPENBERG Tobias J.
(Ecole Polytechnique Federale de Lausanne, Lausanne, CHE)
資料名:
Nano Letters
(Nano Letters)
巻:
17
号:
6
ページ:
3501-3505
発行年:
2017年06月
JST資料番号:
W1332A
ISSN:
1530-6984
CODEN:
NALEFD
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
短報
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)