文献
J-GLOBAL ID:201702256629027633
整理番号:17A0791623
マグネトロンスパッタリング系における平衡磁場【Powered by NICT】
Balanced magnetic field in magnetron sputtering systems
著者 (1件):
Golosov Dmitriy A.
(Belarusian State University of Informatics and Radioelectronics, P. Brovka, 6, 220013 Minsk, Belarus)
資料名:
Vacuum
(Vacuum)
巻:
139
ページ:
109-116
発行年:
2017年
JST資料番号:
E0347A
ISSN:
0042-207X
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)