文献
J-GLOBAL ID:201702256985808509
整理番号:17A0756776
SAWデバイスのためのVUV/O_3処理により支援された非晶質中間層を持つLiTaO_3/ST水晶結合の研究【Powered by NICT】
Study of LiTaO3/ST-quartz bonding with amorphous interlayer assisted by VUV/O3 treatment for SAW device
著者 (5件):
Suzaki Haruka
(Waseda University, 3-4-1 Okubo, Shinjuku, Tokyo 169-8555, Japan)
,
Kuwae Hiroyuki
(Waseda University, 3-4-1 Okubo, Shinjuku, Tokyo 169-8555, Japan)
,
Okada Akiko
(Waseda University, 3-4-1 Okubo, Shinjuku, Tokyo 169-8555, Japan)
,
Shoji Shuichi
(Waseda University, 3-4-1 Okubo, Shinjuku, Tokyo 169-8555, Japan)
,
Mizuno Jun
(Research Organization for Nano and Life Innovation, Waseda University, 513 Waseda Tsurumaki-cho, Shinjuku, Tokyo 162-0041, Japan)
資料名:
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻:
2016
号:
IMPACT
ページ:
239-242
発行年:
2016年
JST資料番号:
W2441A
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)