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文献
J-GLOBAL ID：201702257066043805
整理番号：17A0968165
トリクロロシランからの反応蒸留支援超純粋シラン製造:プロセスシミュレーションおよび最適化
Reactive Distillation-Aided Ultrapure Silane Production from Trichlorosilane: Process Simulation and Optimization
LI Xue-Gang
(Shanghai Jiao Tong Univ., Shanghai, CHN)
,
HUANG Xun
(Shanghai Jiao Tong Univ., Shanghai, CHN)
,
XIAO Wen-De
(Shanghai Jiao Tong Univ., Shanghai, CHN)
資料名：
Industrial & Engineering Chemistry Research
(Industrial & Engineering Chemistry Research)
巻： 56 号： 7 ページ： 1731-1738 発行年： 2017年02月22日
JST資料番号： C0385C ISSN： 0888-5885 CODEN： IECRED 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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