文献
J-GLOBAL ID:201702258025615951
整理番号:17A0212814
クリーンルーム中の低濃度ほう素とりん汚染物質を検出するための簡単で迅速な方法【Powered by NICT】
A Simple and Rapid Method to Detect Low-Concentration Boron and Phosphorus Contaminants in Cleanrooms
著者 (2件):
Kuo Chi-Wen
(Civil Engineering Department, National Taiwan University, Taipei, Taiwan)
,
Chang Luh-Maan
(Civil Engineering Department, National Taiwan University, Taipei, Taiwan)
資料名:
IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing
(IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing)
巻:
30
号:
1
ページ:
114-118
発行年:
2017年
JST資料番号:
T0521A
ISSN:
0894-6507
CODEN:
ITSMED
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)