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J-GLOBAL ID：201702258063967830 整理番号：17A0922706

マイクロメカニカル共振器応用のためのシリコン基板上へのGaN結晶層のポリマー接合

Polymer bonding of GaN crystal layer on silicon substrate for micro mechanical resonator applications

著者 (3件)：

SASAKI Takashi

(Tohoku Univ., Sendai, JPN)

HAYAKAWA Yuta

(Tohoku Univ., Sendai, JPN)

HANE Kazuhiro

(Tohoku Univ., Sendai, JPN)

資料名：

Microsystem Technologies (Microsystem Technologies)

巻： 23 号： 7 ページ： 2891-2898 発行年： 2017年07月
JST資料番号： W2056A ISSN： 0946-7076 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：ドイツ (DEU) 言語：英語 (EN)

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