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文献
J-GLOBAL ID：201702258079005992
整理番号：17A0381379
低電力と高速始動応用のためのキャッチアンドリリース機構により可能になった間欠的自由振動MEMSジャイロスコープ【Powered by NICT】
An intermittent free-vibration MEMS gyroscope enabled by catch-and-release mechanism for low-power and fast-startup applications
Gando Ryunosuke
(Corproate Research & Develop Center, Toshiba Corporation, Japan)
,
Kubo Haruka
(Corporate Manufacturing Engineering Center, Toshiba Corporation, Japan)
,
Tomizawa Yasushi
(Corproate Research & Develop Center, Toshiba Corporation, Japan)
,
Ogawa Etsuji
(Corproate Research & Develop Center, Toshiba Corporation, Japan)
,
Maeda Shunta
(Corproate Research & Develop Center, Toshiba Corporation, Japan)
,
Masunishi Kei
(Corporate Manufacturing Engineering Center, Toshiba Corporation, Japan)
,
Hatakeyama Yohei
(Corproate Research & Develop Center, Toshiba Corporation, Japan)
,
Itakura Tetsuro
(Corproate Research & Develop Center, Toshiba Corporation, Japan)
,
Ikehashi Tamio
(Corproate Research & Develop Center, Toshiba Corporation, Japan)
資料名：
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻： 2017 号： MEMS ページ： 29-32 発行年： 2017年
JST資料番号： W2441A 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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