文献
J-GLOBAL ID:201702258100687722
整理番号:17A0381618
単位面積MEMS共振器当たりの高電気機械結合と高静電容量のためのYカットニオブ酸リチウム薄膜における底部電極の統合【Powered by NICT】
Integration of bottom electrode in Y-cut lithium niobate thin films for high electromechanical coupling and high capacitance per unit area MEMS resonators
著者 (4件):
Kochhar Abhay
(Carnegie Mellon University, Pittsburgh, USA)
,
Colombo Luca
(Carnegie Mellon University, Pittsburgh, USA)
,
Vidal-Alvarez Gabriel
(Carnegie Mellon University, Pittsburgh, USA)
,
Piazza Gianluca
(Carnegie Mellon University, Pittsburgh, USA)
資料名:
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻:
2017
号:
MEMS
ページ:
962-965
発行年:
2017年
JST資料番号:
W2441A
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)