文献
J-GLOBAL ID:201702258106357443
整理番号:17A0703898
Si面6H-SiCの化学機械平坦化におけるアブレシブ粒子と基板表面の間の相互作用の役割【Powered by NICT】
The role of interactions between abrasive particles and the substrate surface in chemical-mechanical planarization of Si-face 6H-SiC
著者 (5件):
Chen Guomei
(School of Mechanical Engineering, Jiangnan University, Wuxi, Jiangsu 214122, China. nizf@jiangnan.edu.cn zhaoyw@jiangnan.edu.cn)
,
Ni Zifeng
,
Bai Yawen
,
Li Qingzhong
,
Zhao Yongwu
資料名:
RSC Advances (Web)
(RSC Advances (Web))
巻:
7
号:
28
ページ:
16938-16952
発行年:
2017年
JST資料番号:
U7055A
ISSN:
2046-2069
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)