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文献
J-GLOBAL ID：201702258210405121
整理番号：17A0214270
二重仕事関数金属ゲートを持つ垂直積層ゲートオールアラウンドSiナノワイヤCMOSトランジスタ【Powered by NICT】
Vertically stacked gate-all-around Si nanowire CMOS transistors with dual work function metal gates
Mertens H.
(Imec, Kapeldreef 75, B-3001 Leuven, Belgium)
,
Ritzenthaler R.
(Imec, Kapeldreef 75, B-3001 Leuven, Belgium)
,
Chasin A.
(Imec, Kapeldreef 75, B-3001 Leuven, Belgium)
,
Schram T.
(Imec, Kapeldreef 75, B-3001 Leuven, Belgium)
,
Kunnen E.
(Imec, Kapeldreef 75, B-3001 Leuven, Belgium)
,
Hikavyy A.
(Imec, Kapeldreef 75, B-3001 Leuven, Belgium)
,
Ragnarsson L.-A.
(Imec, Kapeldreef 75, B-3001 Leuven, Belgium)
,
Dekkers H.
(Imec, Kapeldreef 75, B-3001 Leuven, Belgium)
,
Hopf T.
(Imec, Kapeldreef 75, B-3001 Leuven, Belgium)
,
Wostyn K.
(Imec, Kapeldreef 75, B-3001 Leuven, Belgium)
,
Devriendt K.
(Imec, Kapeldreef 75, B-3001 Leuven, Belgium)
,
Chew S. A.
(Imec, Kapeldreef 75, B-3001 Leuven, Belgium)
,
Kim M. S.
(Imec, Kapeldreef 75, B-3001 Leuven, Belgium)
,
Kikuchi Y.
(Imec, Kapeldreef 75, B-3001 Leuven, Belgium)
,
Rosseel E.
(Imec, Kapeldreef 75, B-3001 Leuven, Belgium)
,
Mannaert G.
(Imec, Kapeldreef 75, B-3001 Leuven, Belgium)
,
Kubicek S.
(Imec, Kapeldreef 75, B-3001 Leuven, Belgium)
,
Demuynck S.
(Imec, Kapeldreef 75, B-3001 Leuven, Belgium)
,
Dangol A.
(Imec, Kapeldreef 75, B-3001 Leuven, Belgium)
,
Bosman N.
(Imec, Kapeldreef 75, B-3001 Leuven, Belgium)
,
Geypen J.
(Imec, Kapeldreef 75, B-3001 Leuven, Belgium)
,
Carolan P.
(Imec, Kapeldreef 75, B-3001 Leuven, Belgium)
,
Bender H.
(Imec, Kapeldreef 75, B-3001 Leuven, Belgium)
,
Barla K.
(Imec, Kapeldreef 75, B-3001 Leuven, Belgium)
,
Horiguchi N.
(Imec, Kapeldreef 75, B-3001 Leuven, Belgium)
,
Mocuta D.
(Imec, Kapeldreef 75, B-3001 Leuven, Belgium)
資料名：
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻： 2016 号： IEDM ページ： 19.7.1-19.7.4 発行年： 2016年
JST資料番号： W2441A 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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